YSBZ6000真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時，真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關(guān)系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)間接關(guān)系。因此，開發(fā)了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性。